HORIBA STEC SEC-N112MGM SEC-N122MGM SEC-N132气体质量流量控制器

HORIBA STEC SEC-N112MGM SEC-N122MGM  SEC-N132气体质量流量控制器 HORIBA为半导体和工业加工市场的各环节提供量身定制的可靠流体控制、汽化、分析设备和测量系统解决方案。从材料评估到检验的各个阶段，HORIBA产品都有助于在工艺中保持较和再现性。

解决方案包括气体和液体质量流量控制器、液体汽化系统、自动液体再充系统、气体发生器、纯水监控器和化学药液浓度计。

SEC-N112JM 系列

数字式质量流量控制器

SEC-N100 系列适用于各种行业和应用。该质量流量控制器可以控制不同范围的流量：10 SCCM 至 1000 SLM。SEC-N100 系列还支持各种通信模式，即数字/模拟、DeviceNet™、CC-Link™ 、PROFIBUS™ 和 EtherCAT® 。SEC-N100 系列提供（+/- 1.0% 设 *1）和高速响应。该质量流量控制器还具有多气体/多量程功能，可降低制程成本。

*1 不包括 SEC-N17X 系列

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